Gigaphoton NextGLP

Theme

・レーザードーピング
・レーザーアニーリング
LTPS（Low Temperature Polycrystalline Sillicon)
・レーザーアブレーション
PLD（Pulsed Laser Deposition）

Achievements

研究成果（外部リンク：九州大学Pure）

Equipments

・KrFエキシマレーザー
・ArFエキシマレーザー
　　　　　　　　　　　　　　　　　...etc

MEMBER

　　　　　　　薮田　久人　　　　教授
　　　　　　　田中　洋平　　　　学術研究員
　　　　　　　 　　　　　

COLLABORATORS

　　　　　　　　九州大学　　　中村研究室
　　　　　　　　九州大学　　　佐道研究室
　　　　　　　　九州大学　　　末廣研究室
　　　　　　　　光量子プロセス研究開発センター

Organization

Gigaphorton NextGLP

Delegate

薮田 久人 (Hisato Yabuta)

Address

福岡県福岡市西区元岡744
ウエスト2号館 530-1

TEL

092-802-3774

Since

2011/9

Link

Yabuta Lab

Gigaphoton Inc.

光量子プロセス研究開発センター

九州大学　学術研究・産学連携本部